- 作者:禾吉芯
- 浏览量:250
- 发布日期:2024-05-17 15:53:21
半导体制造设备中用到静电吸盘（ESC）的9家主要日系厂商介绍
新光电气工业是一家总部位于长野县长野市的公司。我们的主要产品是半导体封装基板，市场份额全球第二，但我们也开发静电吸盘。其特点是在导体蚀刻设备的市场占有率特别高。住友大阪水泥是住友集团旗下的一家水泥制造商。虽然我们的支柱业务是水泥，但作为新材料业务，我们还开发了用于半导体制造设备的静电吸盘。这是一种由超细颗粒高纯度SiC（碳化硅）制成的静电吸盘，具有高纯度、高导热性、高耐压和高耐用性。此外，我们已宣布在2021年和2023年扩大静电吸盘产能，预计未来销量将会增加。TOTO 是一家总部位于福冈县北九州市的制造商。尽管我们以马桶和盥洗盆等卫生设备而闻名，但我们实际上正在开发静电吸盘，作为陶瓷业务的一部分。虽然销售额仅占 TOTO 总销售额的 4%，但营业收入却是 TOTO 的最高收入来源之一，约占总收入的 14%。利用在厕所中培育的成型和烧制技术，我们在静电吸盘方面获得了很高的市场份额。NGK 是一家陶瓷制造商，总部位于爱知县名古屋。我们生产用于半导体制造设备的多种陶瓷产品，并开发了静电吸盘和陶瓷加热器。其特点是具有优异的强度、耐热性、耐腐蚀性。日本特殊陶瓷也是一家陶瓷制造商，总部位于爱知县名古屋市。该公司是作为 NGK 的子公司成立的，静电卡盘由集团公司 NTK开发。 他们的特点是根据应用提供各种类型的晶圆卡盘。京瓷是一家总部位于京都的电子零部件制造商。除了静电吸盘之外，我们还为汽车、智能手机、医疗和能源应用等广泛领域提供陶瓷零件。陶瓷加热器和静电吸盘是半导体制造设备的主要产品。Creative Technology 是一家总部位于神奈川县的零部件制造商。我们专注于静电吸盘的开发，并将业务扩展到半导体、汽车和纺织行业。筑波精工是一家专业静电吸盘制造商，总部位于栃木县。现任社长根据东京大学樋口实验室的研究成果开发了该业务。它采用可减少资本投资的晶圆厂光方法。巴川制纸是一家以打印碳粉和电子材料为主业的制造商。我们还利用在造纸和电子材料业务中积累的技术开发静电吸盘。
